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 ATH-M系列磁悬浮分子泵

  发布时间:2013-9-4

ATH-M系列 磁悬浮涡轮分子泵                           
 
ATH 2300 M - 1600 M- 1300 M – 400 M
 
5大防腐特性
1.       嵌入式75°C加热系统
2.       惰性气体吹扫
3.       5轴控制
4.       自动平衡系统
5.       高通量应用
      ATH 400 M, ATH130 M,ATH 1600 M和ATH 2300 M型是专为高压、高通量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。
 
紧凑而现代的设计
1.       高平均无故障时间
2.       使用成本低
3.       可调节转速以优化抽气时的参数
4.       低噪音低振动
5.       无需电池
 
应用
1.       玻璃镀膜
2.       微处理系统加工
3.       离子束矫正
4.       电子显微镜
5.       空间模拟腔
6.       粒子加速器
7.       半导体工艺(蚀刻,CVD,粒子注入)
8.       镀膜与薄镀膜工艺
9.       离子铣
10.   许多研发实验
 
产品特征
1.       无需保养的磁性轴承*
2.       无油的,干静的真空
3.       任何方向安装
4.       可抵抗气体冲击
5.       较小的体积和重量
6.       ISO-K和CF-F真空法兰(ASA需要咨询)
7.       紧凑的1/2 Rock控制器
8.       一体化控制器
9.       标准的RS 232,RS 485通讯接口
 
(*)S2M专利及ATH2300 M的阿尔卡特专利
 
 
 
规格
 
 
   
 

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