Brooks CTI-Cryogenics Cryo-Torr 系列(CT系列)低温泵可以为重要的真空制程应用提供清洁环境、可靠性能、和高抽速。为了增加适用性,您可以根据您特定应用的需要增加您自己定制的控制系统和外围辅助附件。由于它们的运行成本低、维护快速简便,这些低温泵的可靠性非常高,进行检修的次数非常少。
Cryo-Torr 低温泵参数特性:
实际上Brooks还有多种特别配置的低温泵可供选择(比如氢气增强型),若有特殊要求请联系我们。
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